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靶材為什要測量密度?

靶材為什要測量密度?秒準靶材密度計的優勢在哪里?

靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時,不易吸附,無空隙,背靶易脫落。

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

靶材在生產制造的過程中需要對其密度進行測試,采用的方法是阿基米德原理,儀器自動計算出靶材密度g/cm3。目前生產的測試采用人工對靶材進行測量,由于靶材重量大,操作不便,不利于手動計算測試密度。因此需要一種專用密度儀進行操作。因此解決這一問題就顯得十分必要。

如何測量靶材的密度?

陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理:根據ASTM B311、B328;MPIF 42、57;JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738??蛇m用于煮沸法、真空飽和法量測,采用阿基米德原理浮力法,準確直讀量測數值。

秒準靶材密度計經過市場10幾年的驗證以及不斷的研發升級,現已具備以下特點:
1、數顯直讀,無需人工計算,直接顯示密度和體積等參數。

2、全彩7寸觸摸屏操作,自帶打印功能,可編輯帶公司名稱物料編碼的數據報告。
3、采用梅特勒原裝進口傳感器,測量精準、操作簡便、穩定耐用。
4、具有實際水溫補償功能,可適應測試環境變化。

5、可設定媒介液密度,使用水作介質,也可使用其它液體介質。
6、采用SUS304一體水槽,耐腐蝕耐摔,底部設計靜音萬向輪,便于移動。

7、含USB通信接口,方便與電腦連接。

8、內置靜音排水系統,方便換水。
功能描述:

1、直接讀取靶材工件的密度和體積。

2、直接讀取多孔材料體密度、濕密度、視密度、視孔隙率、吸水率、開孔體積、封孔體積、總孔隙率。

特別備注:秒準靶材密度計支持非標定制,已經為多家用戶實現自動化密度測試儀非標定制,搭配機械手/吊機,自動完成密度測試,自動輸出數據。
技術參數:

品牌

MAYZUM(保修期:三年)

型號

MAY-AE10

MAY-AE30

MAY-AE50

MAY-AE80

最大稱重

0.1g-10kg

0.1g-30kg

0.5g-50kg

2g-80kg

密度精度

0.001 g/cm3

密度范圍

0.001~99.999g/cm3

吸水率

吸水率、孔隙率0.1%

水槽尺寸

水槽尺寸:1.2*1*1.2m(長寬高),依據客戶工件尺寸定制最終尺寸

測量時間

約5秒

測量步驟

放水中吊籃上,按保存鍵密度和體積直接顯示,并打印數據報告。
多孔材料、粉末測試步驟依據國標請參考隨機說明書

結果顯示

體密度、濕密度、視密度、視孔隙率、吸水率、開孔體積、封孔體積、總孔隙率

參數設定

水溫設定、媒介液體密度設定

校正方式

一鍵自動校正

輸出方式

RS-232C標準通信接口、方便測試數據輸出與打印

溫濕度范圍

允許環境溫度:0~45℃;允許相對濕度:80%以內

電    源

AC~220V / 50HZ(出口電源需定制,訂貨前提前注明即可)

操作面板

4.寸觸摸屏

標準配件

①主機一臺、②測量組件一套、③電源變壓器一個、④打印紙1卷

選購配件

□MZ-300KPA工業真空浸潤機

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